行業(yè)案例
明明可以靠顏值吃飯,偏偏要拼實(shí)力
晟鼎微波等離子清洗機(jī)
形好、價(jià)好、質(zhì)更好
真正的實(shí)力派!
Microwave PLASMA
微波等離子助力半導(dǎo)體封裝工藝
隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體封裝要求越來(lái)越高,而作為提高封裝質(zhì)量的微波等離子清洗成為了不可缺少的工序。清洗的目的是徹底清除設(shè)備表面上的粒子、有機(jī)和無(wú)機(jī)雜質(zhì),以確保產(chǎn)品質(zhì)量。目前等離子清洗技術(shù)由于其突出的優(yōu)勢(shì)已經(jīng)被社會(huì)上高度重視并得到了廣泛的認(rèn)可。
1
芯片粘接前處理
去除材料表面污染物,去除氧化物利于焊料回流,改善芯片與載體鏈接,減少剝離現(xiàn)象,提高熱耗散性能。
2
金屬鍵合前處理
去除金屬焊盤(pán)上的有機(jī)污染物,清除纖薄污染表層,提高鍵合強(qiáng)度和鍵合線拉力的均勻性。
3
光刻膠去除
去除殘留的光刻膠及其他有機(jī)物,活化和粗化晶圓表面,提高晶圓表面潤(rùn)濕性能。
4
塑封前處理
去除材料表面污染物,使芯片表面與塑封材料結(jié)合牢固,減少分層于氣泡等不良的產(chǎn)生。
半導(dǎo)體封裝
PLASMA處理整體解決方案
針對(duì)半導(dǎo)體封裝需求設(shè)計(jì)的微波處理整體解決方案,可根據(jù)產(chǎn)品特性及客戶需求,提供微波等離子自動(dòng)化系統(tǒng),并提供完善的在線式及腔體式產(chǎn)品系列予以選擇。
SPV-100MWR是一款用于半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)的微波等離子清洗機(jī),配置磁流體旋轉(zhuǎn)架,增加plasma處理均勻度,高效、均勻的微波等離子體輸出,保障刻蝕效率。
聯(lián)系人:郭經(jīng)理
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