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SPV-60真空等離子清洗機
產(chǎn)品特點
軍工級的焊接工藝,腔體密封性強,高密度等離子源,保證全方位均勻清洗;
一鍵啟動,精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數(shù);
45℃超低清洗溫度,不造成熱影響,確保穩(wěn)定的處理效果;
雙路或多路工藝氣體,氣體控制穩(wěn)定;
產(chǎn)品概述
SPV-60真空等離子清洗機是一款專為小批量樣品表面改性處理,實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕的功效,具有移動方便,多種配置功能、穩(wěn)定性及操作方便的優(yōu)勢。
規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品優(yōu)勢
半導(dǎo)體加工工藝及其它薄膜加工工藝過程中,各類光刻膠的等離子去除,去除材料表面污染物,保證與其他材料的結(jié)合能力。
晟鼎的微波PLASMA去膠機,搭載國內(nèi)首創(chuàng)微波半導(dǎo)體去膠發(fā)生器技術(shù),配置磁流體旋轉(zhuǎn)架,使微波等離子體更加高效、均勻的輸出,不僅去膠效果好,還能做到無損硅片與其他金屬器件。并提供“微波+Bias RF”雙電源技術(shù),以應(yīng)對不同客戶需求。
等離子清洗技術(shù)是清洗方法中最為徹底的剝離式清洗方式,其最大優(yōu)勢在于清洗后無廢液,最大特點是對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地處理,可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
聯(lián)系人:郭經(jīng)理
微信號:180 6809 9686
地址:昆山市開發(fā)區(qū)三巷路427號7號樓
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