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SPV-150真空等離子清洗機(jī)
軍工級(jí)的焊接工藝,腔體密封性強(qiáng),高密度等離子源,保證全方位均勻清洗;
一鍵啟動(dòng),精確控制試驗(yàn)時(shí)間、真空度、功率等重要參數(shù);
45℃超低清洗溫度,不造成熱影響,確保穩(wěn)定的處理效果;
雙路或多路工藝氣體,氣體控制穩(wěn)定;
易操作及維護(hù),全程工藝可控,可在線(xiàn)設(shè)置、修改、監(jiān)控各種工藝參數(shù);
產(chǎn)品概述
SPV-150真空等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于LED、半導(dǎo)體等行業(yè),改變表面粗糙度,去除污染物,提高附著力,加大粘合強(qiáng)度,減少氣泡,提高發(fā)光率。
規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
半導(dǎo)體加工工藝及其它薄膜加工工藝過(guò)程中,各類(lèi)光刻膠的等離子去除,去除材料表面污染物,保證與其他材料的結(jié)合能力。
晟鼎的微波PLASMA去膠機(jī),搭載國(guó)內(nèi)首創(chuàng)微波半導(dǎo)體去膠發(fā)生器技術(shù),配置磁流體旋轉(zhuǎn)架,使微波等離子體更加高效、均勻的輸出,不僅去膠效果好,還能做到無(wú)損硅片與其他金屬器件。并提供“微波+Bias RF”雙電源技術(shù),以應(yīng)對(duì)不同客戶(hù)需求。
等離子清洗技術(shù)是清洗方法中最為徹底的剝離式清洗方式,其最大優(yōu)勢(shì)在于清洗后無(wú)廢液,最大特點(diǎn)是對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地處理,可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
聯(lián)系人:郭經(jīng)理
微信號(hào):180 6809 9686
地址:昆山市開(kāi)發(fā)區(qū)三巷路427號(hào)7號(hào)樓
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