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SPV-200真空等離子清洗機
軍工級的焊接工藝,腔體密封性強,高密度等離子源,保證全方位均勻清洗;
一鍵啟動,精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數(shù);
45℃超低清洗溫度,不造成熱影響,確保穩(wěn)定的處理效果;
雙路或多路工藝氣體,氣體控制穩(wěn)定;
易操作及維護,全程工藝可控,可在線設置、修改、監(jiān)控各種工藝參數(shù);
根據(jù)各行業(yè)客戶需求,定制化氣體配方及自動化方案;
產(chǎn)品概述
SPV-200真空等離子清洗機的腔體“肚量”寬大,超大處理空間,真空腔體容量為20OL,提升處理產(chǎn)能,可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數(shù)全自動工作,減少人力成本。
規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品優(yōu)勢
半導體加工工藝及其它薄膜加工工藝過程中,各類光刻膠的等離子去除,去除材料表面污染物,保證與其他材料的結(jié)合能力。
晟鼎的微波PLASMA去膠機,搭載國內(nèi)首創(chuàng)微波半導體去膠發(fā)生器技術(shù),配置磁流體旋轉(zhuǎn)架,使微波等離子體更加高效、均勻的輸出,不僅去膠效果好,還能做到無損硅片與其他金屬器件。并提供“微波+Bias RF”雙電源技術(shù),以應對不同客戶需求。
等離子清洗技術(shù)是清洗方法中最為徹底的剝離式清洗方式,其最大優(yōu)勢在于清洗后無廢液,最大特點是對金屬、半導體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地處理,可實現(xiàn)整體和局部以及復雜結(jié)構(gòu)的清洗。
聯(lián)系人:郭經(jīng)理
微信號:180 6809 9686
地址:昆山市開發(fā)區(qū)三巷路427號7號樓
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